半導體液氮真空管道分段制作，方便安裝、維護；整體管道結構設計合理，材料材質控制嚴格，管道使用壽命長；由動態(tài)真空和靜態(tài)真空技術組成的兩種系統(tǒng)（動態(tài)真空：選擇外部泵-動態(tài)系統(tǒng)作為整個管道系統(tǒng)的一部分；靜態(tài)真空：靜態(tài)安裝，通常我們默認為選擇靜態(tài)安裝，而不需要外部泵，而僅依靠我們抽真空和密封的靜態(tài)管道的真空質量。

半導體液氮真空管道的特點
管道夾層采用高真空多層絕熱結構，使氣體對流傳熱可忽略不計；
高真空絕熱材料的有效導熱系數(shù)小（較發(fā)泡聚氨脂小100倍以上）；
低溫絕熱管道之間采用＂撐插式法蘭連接＂，法蘭處無冒汗結霜，其金屬的導熱大大降低；
高真空低溫管道的漏熱量較相同公稱直徑的堆積絕熱管道漏熱量小10倍以上；
根據(jù)用戶需要在低溫絕熱管道上可增設高真空多層絕熱低溫截止閥和止回閥，閥門不冒汗，不結霜．

半導體液氮真空管道

管道 規(guī)格（mm）

通徑

DN15

DN20

DN25

DN32

DN40

DN50

DN65

DN80

DN100

DN125

DN150

內管

Φ20*2

Φ25*2

Φ32*3

Φ38*3

Φ45*3

Φ57*3

Φ76

Φ89

Φ108

Φ133

Φ159

外管

Φ76*2

Φ89*2

Φ89*2

Φ108*2

Φ108*2

Φ114*3

Φ133

Φ159

Φ168

Φ219

Φ245

工作壓力

?根據(jù)用戶需要設計

設計溫度

-196℃/-270℃

工作介質

LO2、LN2 、LAr 、LH2 、LNG

內、外管材質

?06Cr19Ni10、SUS304 (可根據(jù)用戶要求選擇內管材質）

結構形式

高真空多層絕熱

夾層壓力

＜0.004Pa

管道真空漏率

＜2*10-10Pa L/S